细数使用特种气体的地方有哪些

2021-09-01  来自: 大连物流公司 浏览次数:4

大连特种气体电子行业常用的特气超越三十余种,按风险性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。依照物理形态可分为紧缩气体、液化气体和低温气体。特种气体的应用范畴主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显现器、光纤消费四大范畴。 


特种气体是指在特定领域中应用的对纯度、品种、性质有特殊要求的气体,随着国防工业、科学研究、自动化技术、精密检测(特别是微电子技术)的发展.


大连特种气体主要应用于半导体集成电路的消费制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。在集成电路制造应用方面详细包括集成电路芯片制程、化学气相堆积和气体应用、刻蚀和气体应用、掺杂和气体应用。


对气体剖析仪用气体,如含氢10%,其他是氦的混合气以及含甲烷5%或10%,其他是氩的混合气,被用作气相色谱仪的载气;含氢40%,其他是氮或氦的混合气被用作氢火焰总烃检测仪的燃料气。

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